Графитовые фитинги PECVD, изостатический графитовый материал, сплошной блок

Графит PECVD Описание промышленного класса

Графит PECVD представляет собой высокопроизводительный компонент графита, специально разработанный для плазменных процессов химического отложения паров (PECVD).мелкозернистый графит, обеспечивает отличную тепловую стабильность, равномерную проводимость и низкий уровень примесей, критически важный для окружающей среды, чувствительной к загрязнению.Его оптимизированная микроструктура обеспечивает последовательное взаимодействие плазмы и равномерное отложение пленки на всех подложках.Благодаря низкому тепловому расширению и сильной устойчивости к тепловому удару, графит PECVD сохраняет целостность измерений при быстром цикле температуры.Факультативные поверхностные покрытия еще больше повышают устойчивость к окислению и продолжительность жизниШироко используется в полупроводниковом производстве и тонкопленочных системах отложения, обеспечивает точное управление процессом, повторяемость и долгосрочную эксплуатационную надежность.