PECVD-grafiettoebehoren Isostatisch grafietmateriaal

PECVD-grafiet  Beschrijving van industriële kwaliteit

PECVD-grafiet is een hoogwaardig grafietcomponent dat speciaal is ontworpen voor plasma-verbeterde chemische dampdepositieprocessen (PECVD).fijnkorrelige grafietHet biedt uitstekende thermische stabiliteit, uniforme geleidbaarheid en lage onzuiverheidsniveaus die van cruciaal belang zijn voor verontreinigingsgevoelige omgevingen.De geoptimaliseerde microstructuur zorgt voor een consistente plasma-interactie en een uniforme filmdepositie over de substratenMet een lage thermische uitbreiding en een sterke weerstand tegen thermische schokken behoudt PECVD-grafiet de dimensionale integriteit onder snelle temperatuurcyclussen.Optionele oppervlaktecoatingen verbeteren de oxidatiebestendigheid en de levensduurHet wordt op grote schaal gebruikt in de halfgeleiderfabricage en in dunne-film-afzettingssystemen en zorgt voor nauwkeurige procescontrole, herhaalbaarheid en betrouwbaarheid op lange termijn.