گرافیت PECVD – توضیحات درجه صنعتی

گرافیت PECVD یک جزء گرافیت با کارایی بالا است که به طور خاص برای فرآیندهای رسوب شیمیایی بخار تقویت شده با پلاسما (PECVD) مهندسی شده است. این ماده که از گرافیت فوق خالص و دانه‌ریز ساخته شده است، پایداری حرارتی عالی، رسانایی یکنواخت و سطوح ناخالصی پایین را فراهم می‌کند که برای محیط‌های حساس به آلودگی حیاتی است. ریزساختار بهینه‌شده آن، تعامل یکنواخت پلاسما و رسوب یکنواخت فیلم را در سراسر زیرلایه‌ها تضمین می‌کند. با انبساط حرارتی کم و مقاومت بالا در برابر شوک حرارتی، گرافیت PECVD در طول چرخه دمایی سریع، یکپارچگی ابعادی خود را حفظ می‌کند. پوشش‌های سطحی اختیاری، مقاومت در برابر اکسیداسیون و طول عمر را بیشتر بهبود می‌بخشند. این ماده که به طور گسترده در تولید نیمه‌هادی‌ها و سیستم‌های رسوب لایه نازک استفاده می‌شود، کنترل دقیق فرآیند، تکرارپذیری و قابلیت اطمینان عملیاتی طولانی‌مدت را تضمین می‌کند.

درجه	چگالی حجمی (g/cm³)	مقاومت الکتریکی (μΩ·m)	مقاومت فشاری (MPa)	مقاومت خمشی (MPa)	سختی شور	محتوای خاکستر (ppm)	خاکستر خالص شده: گرافیتاسیون (ppm)	خاکستر خالص شده: محصول (ppm)	ضریب انبساط حرارتی (*10⁻⁶/°C)	هدایت حرارتی W/(m·K)	مدول یانگ (GPa)	کاربردها
CDI-1A	1.85	10-13	90	45	60	300	50	5	5.5	133	11.5	نیمه‌هادی، منطقه حرارتی در صنعت PV، تف جوشی سرامیک، کوره خلاء
CDI-1B	1.8	10-13	86	40	55	300	50	5	5.4	121	10	نیمه‌هادی، منطقه حرارتی در صنعت PV، تف جوشی سرامیک، کوره خلاء
CDI-1C	1.82	11-15	100	48	58	300	50	5	5.6	120	10.6	نیمه‌هادی، منطقه حرارتی در صنعت PV، تف جوشی سرامیک، کوره خلاء
CDI-1D	1.75	12-16	80	40	58	300	50	5	5.8	108	10	نیمه‌هادی، منطقه حرارتی در صنعت PV، تف جوشی سرامیک، کوره خلاء

اتصالات گرافیت PECVD بلوک جامد مواد گرافیت ایزواستاتیک

گرافیت ایزواستاتیک,بخاری های گرافیتی,PECVD گرافیت

Graphite heaters

PECVD Graphite