공기 부양 흑연 다공성 성형 고체화 펠트 정밀
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흑연 다공성 매체 가스 베어링은 흑연 다공성 매체의 윤활 특성을 활용하여 베어링 지지 및 마찰 감소를 달성합니다. 흑연 다공성 매체 재료는 많은 작은 기공을 포함하고 있습니다. 이러한 기공을 통해 가스가 베어링으로 유입되어 공기층을 형성하고, 이는 베어링과 샤프트 사이에 가스 윤활막을 생성하여 마찰 계수와 마찰 손실을 줄입니다.
주요 적용 시나리오는 다음과 같습니다.
◆ 반도체 산업:
웨이퍼 절단, 웨이퍼 검사 및 웨이퍼 연삭/박막 장비.
◆ 광학 제조 및 검사:
산업용 CT, 레이저 가공, 광섬유 정렬, 초정밀 선반, 5축 가공 센터 및 레이저 반사경과 같은 부품의 정밀 가공 및 각도 보정.
◆ 정밀 측정:
광학 프로파일러, 원통도계 및 다축 모션 스테이지를 통해 실현되는 3차원 공간에서의 고해상도 변위 감지.
◆ 과학 연구 실험:
양자 컴퓨팅 장비의 초저온 환경 모션 제어 또는 재료 기계적 특성 테스트 등.
◆ 항공 우주:
항공 엔진 블레이드 가공 및 검사, 위성 자세 제어 테스트, 관성 항법 장비 테스트 및 보정 등.
◆ 의료 분야:
CT 및 MRI 의료 영상 장비에서 공기 부상 턴테이블을 사용하여 스캔 부품을 지지하고 회전시킵니다.
| 등급 | 벌크 밀도 g/cm³ | 전기 비저항 μΩ·m | 압축 강도 Mpa | 굽힘 강도 Mpa | 쇼어 경도 | 정제 제품의 회분 함량 ppm | 열팽창 계수 ×10⁻⁶/℃ | 열전도율 W/(m·K) | 영률 Gpa | 응용 분야 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| CDI-Q1 | 1.62 | 16 | 74 | 43 | 60 | 5 | 6.3 | 80 | 8.3 | 비접촉 공기 베어링 및 고급 반도체 패키징 |
| CDI-Q2 | 1.75 | 12 | 100 | 55 | 55 | 5 | 6.2 | 100 | 9.5 | 비접촉 공기 베어링 및 고급 반도체 패키징 |